Содержание
- Межгосударственный стандарт ГОСТ ИСО 14644-1-2002"Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.Часть 1: Классификация чистоты воздуха"(введен в действие постановлением Госстандарта РФ от 10 июня 2003 г. N 190-ст)
- Cleanrooms and associated controlled environments.Part 1: Classification of air cleanliness
- Введение
- 1 Область применения
- 2 Термины и определения
- 2.1 Общая часть
- 2.2 Взвешенные в воздухе частицы - аэрозоли (airborne particles)
- 2.3 Дескрипторы (descriptors)
- 2.4 Состояния чистого помещения (occupancy states)
- 2.5 Стороны (roles)
- 3 Классы чистоты
- 3.1 Состояния чистого помещения
- 3.2 Классификационное число
- Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
- 3.3 Обозначение класса чистоты
- 4 Проверка соответствия
- 4.1 Принцип проверки
- 4.2 Испытания
- 4.3 Максимально допустимые концентрации взвешенных в воздухе частиц
- 4.4 Протокол испытаний
- Графическое представление классов чистоты
- Методика определения классов чистоты при помощи дискретного счетчика частиц с рассеянием света
- В.1 Принцип работы
- В.2 Требования к счетчику
- В.2.1 Счетчик частиц
- В.2.2 Калибровка счетчика
- В.3 Условия до испытаний
- В.3.1 Подготовка чистого помещения к испытаниям
- В.3.2 Подготовка счетчика частиц к работе
- В.4 Отбор пробы
- В.4.1 Определение точек отбора проб
- В.4.2 Определение объема пробы для заданной точки отбора
- В.4.3 Процедура отбора проб
- В.5 Обработка результатов
- В.5.1 Средняя концентрация частиц в каждой точке отбора проб
- В.5.2 Условия вычисления 95%-ного верхнего доверительного предела
- В.6 Заключение по результатам испытаний
- В.6.1 Требования классификации
- В.6.2 Обработка резко выделяющихся значений (выбросов)
- Статистическая обработка данных по концентрации частиц
- С.1 Пояснение
- С.2 Вычисление средней концентрации частиц в точке отбора проб
- С.3 Вычисление 95%-ного верхнего доверительного предела
- С.3.1 Принцип
- С.3.2 Вычисление средней концентрации частиц по всем точкам отбора проб х
- С.3.3 Стандартное отклонение средних концентраций частиц по точкам отбора проб S
- С.3.4 95 %-ный верхний доверительный предел для средней концентрации частиц
- Примеры определения классов чистоты
- Особенности счета и оценки размеров частиц, находящихся вне диапазона размеров, используемого для классификации
- Е.1 Область применения
- Е.2 Частицы размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие частицы) - U-дескриптор
- Е.2.1 Требования к отбору проб
- Е.2.2 Обозначение U-дескриптора
- Е.3 Частицы размером более 5,0 мкм (макрочастицы) - М-дескриптор
- Е.3.1 Требования к отбору проб
- Е.3.2 Обозначение M-дескриптсра
- Метод последовательного отбора проб
- F.1 Область применения и ограничения
- F.1.1 Область применения
- F.1.2 Ограничения
- F.2 Основа метода
- F.3 Порядок работы
- F.3.1 Рекомендации по отбору проб
- F.3.2 Графический метод сравнения
- F.3.3 Табличный метод сравнения
- Библиография